ffu( fan filter unit)
FFU的組成主要有控制器、馬達、扇葉及箱體。首先依使用場所(耐蝕度)選擇箱體,接著就要考量風量及系統壓損選擇最佳化之馬達風扇匹配以求在最高效率下運轉。此外還要針對噪音及振動選定標準以防產生製程不良影響及操作人員之傷害。
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