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FFU靜壓值與潔淨室系統壓損的運作關係

FFU靜壓值與潔淨室系統壓損的運作關係

一般FFU 製造工廠僅將FFU裝上HEPA後,即於開放空間測量風量及耗電數據實際上此時FFU的壓損僅約1 0 0 ~ 1 5 0 P a (僅HEPA的阻抗),遠低於潔淨室實際的壓損阻抗值1 7 0 ~ 2 2 0 P a( 詳圖),故測量的風量及耗電數據雖可達到規範數值,但實際裝置在潔淨室後,將因高架地板、冷卻盤管、風道、管線等阻抗的增加,使得FFU的性能降低而無法滿足潔淨室的要求條件。

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