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懸吊式隔間系統-組裝示意圖

懸吊式隔間系統-組裝示意圖

機台隔間系統主要是在潔淨室建構完成後配合製程生產及機台需求而建置,所以在設計上要符合下列特點:1.輕量化、2. 氣密結構、3. 設置之彈性及擴充性高,可將原系統併入或從原系統延伸、4. 維修容易。

 

懸吊式隔間系統則是運用於機台上方四周之圍封以確保其潔淨度。






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