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製程及機台隔間系統-規格
製程及機台隔間系統依機台需求不同在形式上可分為:
- 懸吊式隔間系統:機台上方四周之圍封以確保其潔淨度。
- 標準站式隔間系統:機台四周從地面至天花之圍封以確保該區域之潔淨度。-
- 挑高站式隔間系統:標準站式隔間系統之加強版，針對高度高於4.5米之運用場合。
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Tool Partition System機台隔間系統
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Tool PartitionType 隔間式樣
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Stand type
標準站立式
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Reinforced
stand type
挑高站立式
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Hanging type
懸吊式
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Installation Dimension
安裝尺寸
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Pitch間距
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~1200 mm
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~1200 mm
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~2000 mm
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Height高度
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~4800 mm
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~9000 mm
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~1500 mm
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規格
Specification
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T Grid Size
(鋁骨架尺寸)
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40x40
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40x120
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40x40
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Aluminum material
(材質)
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A6063-T5
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A6063-T5
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A6063-T5
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Surface treatment
(表面處理)
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Anodic Processing
>10μm
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Anodic Processing
>10μm
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Anodic Processing
>10μm
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Aluminum Composite
鋁複合板
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3~5 mm
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3~5 mm
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3~5 mm
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Coated Steel
烤漆鋼板
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1.2~2mmt
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Anti-static Vision Plate
抗靜電透明板
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3~5 mm
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3~5 mm
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3~5 mm
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Characteristic(特性)
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1. Light weight(輕量化)
2. Air tight structure(氣密結構)
3. Flexibility and extension availability(設置之彈性及擴充性高)
Accommodate existing system ; extension capability from existing system
(可將原系統併入或從原系統延伸)
4. Easy Maintenance(維修容易)
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