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製程機台環境控制系統--特點

製程機台環境控制系統--特點

為了確保製程生產良率,部分製程機台需設置其特有之生產環境(高潔淨度、精密溫溼度控制、低震動)。TOPWELL製程機台環境控制系統乃是一客製化設備(clean room product),可配合製程設備需求量身定做出最佳的製程環境。 

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